Hege suverens Ion implantation wolfraam filament
Ionimplantaasje wolfraamdraad is in kaaikomponint dat wurdt brûkt yn ionimplantaasjemasines, fral yn produksjeprosessen foar semiconductor. Dit soarte fan wolfraam tried spilet in wichtige rol yn semiconductor apparatuer, en syn kwaliteit en prestaasjes direkt ynfloed op de effisjinsje fan IC proses linen. Ion-ymplantaasjemasine is in wichtige apparatuer yn it produksjeproses fan VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), en de rol fan wolfraamdraad as ionboarne kin net negearre wurde. -
| Ofmjittings | As jo tekeningen |
| Plak fan oarsprong | Luoyang, Henan |
| Merknamme | FGD |
| Oanfraach | semiconductor |
| Oerflak | Swarte hûd, alkali waskje, auto glans, gepolijst |
| Purity | 99.95% |
| Materiaal | W1 |
| Tichtheid | 19,3 g/cm3 |
| Utfiering noarmen | GB/T 4181-2017 |
| Smeltpunt | 3400 ℃ |
| Unreinens ynhâld | 0.005% |
| Main komponinten | W＞99.95% |
| Unreinens ynhâld≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Us fabryk leit yn Luoyang City, Henan Provinsje. Luoyang is in produksjegebiet foar wolfraam en molybdenumminen, dus wy hawwe absolute foardielen yn kwaliteit en priis;
2. Us bedriuw hat technysk personiel mei mear as 15 jier ûnderfining, en wy jouwe rjochte oplossingen en suggestjes foar elke klant behoeften.
3. Al ús produkten ûndergeane strikte kwaliteitskontrôle foardat se eksportearre wurde.
4. As jo ûntfange defect guod, kinne jo kontakt mei ús op foar in jild werom.
1.Raw materiaal seleksje
(Selektearje wolfraamgrûnstoffen fan hege kwaliteit om de suverens en meganyske eigenskippen fan it definitive produkt te garandearjen. )
2. Melting en suvering
(Selekteare wolfraam grûnstoffen wurde smolten yn in kontrolearre omjouwing om ûnreinheden te ferwiderjen en de winske suverens te berikken.)
3. Wire tekening
(Gesuvere wolfraammateriaal wurdt ekstrudearre of lutsen troch in searje stjerkes om de fereaske draaddiameter en meganyske eigenskippen te berikken.)
4. Annealing
(De lutsen wolfraamdraad wurdt annealed om ynterne stress te eliminearjen en syn duktiliteit en ferwurkingsprestaasjes te ferbetterjen )
5. Ion Implantation Process
Yn dit bysûndere gefal kin it wolfraamfilament sels in ion-ymplantaasjeproses ûndergean, wêrby't ioanen yn it oerflak fan 'e wolfraamfilament ynjeksje wurde om syn eigenskippen te feroarjen om de prestaasjes yn 'e ion-ymplanter te ferbetterjen.)
Yn it produksjeproses fan semiconductor-chips is ion-implantaasjemasjine ien fan 'e kaaiapparatuer dy't brûkt wurdt om it chipcircuitdiagram fan it masker nei de silisiumwafel oer te bringen en de doelchipfunksje te berikken. Dit proses omfettet stappen lykas gemysk meganysk polearjen, tinne filmdeposysje, fotolitografy, etsen, en ion-ymplantaasje, wêrby't ion-ymplantaasje ien fan 'e wichtige middels is om de prestaasjes fan silisiumwafels te ferbetterjen. De tapassing fan ion-ymplantaasjemasines kontrolearret effektyf de tiid en kosten fan chipproduksje, wylst de prestaasjes en betrouberens fan chips ferbetterje. -
Ja, wolfraamfilaminten binne gefoelich foar fersmoarging tidens it ionimplantaasjeproses. Fersmoarging kin foarkomme troch in ferskaat oan faktoaren, lykas oerbliuwende gassen, dieltsjes, of ûnreinheden oanwêzich yn 'e ion-ymplantaasjekeamer. Dizze kontaminanten kinne har oan it oerflak fan 'e wolfraam gloeidraad hechtsje, dy't har suverens beynfloedzje en mooglik ynfloed hawwe op' e prestaasjes fan it ion-ymplantaasjeproses. Dêrom is it behâld fan in skjinne en kontroleare omjouwing binnen de ion-ymplantaasjekeamer kritysk om it risiko fan fersmoarging te minimalisearjen en de yntegriteit fan 'e wolfraamfilament te garandearjen. Regelmjittige skjinmeitsjen en ûnderhâldsprosedueres kinne ek helpe om it potinsjeel foar fersmoarging by ion-ymplantaasje te ferminderjen.
Wolframdraad is bekend om syn hege smeltpunt en treflike meganyske eigenskippen, dy't it resistint meitsje foar deformaasje ûnder normale ion-ymplantaasjebetingsten. De waarmte dy't ûntstiet by hege-enerzjy-ionbombardemint en ion-ymplantaasje kin lykwols ferfoarming feroarsaakje oer de tiid, foaral as prosesparameters net soarchfâldich kontrolearre wurde.
Faktoaren lykas de yntinsiteit en doer fan 'e ionbeam en de temperatuer- en stressnivo's ûnderfine troch de wolfraamdraad kinne allegear bydrage oan it potinsjeel foar deformaasje. Derneist sille alle ûnreinheden of defekten yn 'e wolfraamdraad de gefoelichheid foar deformaasje fergrutsje.
Om it risiko fan deformaasje te ferminderjen, moatte prosesparameters soarchfâldich kontrolearre en kontroleare wurde, de suverens en kwaliteit fan it wolfraamfilament moatte wurde garandearre, en passende ûnderhâlds- en ynspeksjeprotokollen moatte wurde ymplementearre foar de ion-ymplantaasje-apparatuer. Regelmjittich beoardieljen fan 'e tastân en prestaasjes fan wolfraamdraad kin helpe om alle tekens fan ferfoarming te identifisearjen en korrigearjende aksje te nimmen as nedich.
