Il y a un faisceau d'ions d'air sérieux dans un matériau solide, le faisceau d'ions vers des atomes ou des molécules de matériau solide dans la surface d'un matériau solide, ce phénomène est appelé pulvérisation par faisceau d'ions ; et lorsque le matériau solide, la surface du matériau solide rebondit, ou hors du matériau solide, à ces phénomènes est appelé diffusion ; il existe un autre phénomène : après le faisceau d'ions vers le matériau solide par le matériau solide et réduire lentement la résistance, et finalement rester dans les matériaux solides, ce phénomène est appelé implantation ionique.
Technique d'implantation ionique :
Est une sorte de technologie de modification de surface des matériaux qui s’est développée rapidement et largement utilisée dans le monde au cours des 30 dernières années. Le principe de base est d'utiliser l'énergie du faisceau d'ions incident à l'ordre de 100 keV pour le faisceau d'ions et les matériaux des atomes ou des molécules seront une série d'interactions physiques et chimiques, la perte d'énergie ionique incidente progressivement, le dernier arrêt dans le matériau et provoquent un changement dans la structure et les propriétés de la composition de la surface du matériau. Afin d'optimiser les propriétés de surface des matériaux, ou d'obtenir de nouvelles propriétés. La nouvelle technologie, en raison de ses avantages uniques, a été largement utilisée dans les matériaux semi-conducteurs dopés, les métaux, les céramiques, les polymères, la modification de surface et a permis d'obtenir de grands avantages économiques et sociaux.
L'implantation ionique, en tant que technologie de dopage importante dans la technologie microélectronique, joue un rôle clé dans l'optimisation des propriétés de surface des matériaux. La technologie d'implantation ionique offre des performances à très haute température et une résistance à la corrosion chimique du matériau. Par conséquent, les parties principales de la chambre d’ionisation sont constituées de matériaux en tungstène, en molybdène ou en graphite. Années Gemei de recherche industrielle et de production par implantation ionique de matériau tungstène-molybdène, le processus de production a une expérience stable et riche.
Produits phares pour l'implantation ionique
