رشته تنگستن کاشت یون با خلوص بالا
سیم تنگستن کاشت یونی یک جزء کلیدی است که در ماشین‌های کاشت یون، عمدتاً در فرآیندهای تولید نیمه‌رسانا استفاده می‌شود. این نوع سیم تنگستن نقش مهمی در تجهیزات نیمه هادی ایفا می کند و کیفیت و عملکرد آن به طور مستقیم بر کارایی خطوط فرآیند IC تأثیر می گذارد. دستگاه کاشت یون یک تجهیزات کلیدی در فرآیند تولید VLSI (مدار مجتمع بسیار بزرگ) است و نقش سیم تنگستن به عنوان منبع یون را نمی توان نادیده گرفت.
| ابعاد | به عنوان نقاشی های شما |
| محل مبدا | لویانگ، هنان |
| نام تجاری | FGD |
| برنامه | نیمه هادی |
| سطح | سیاه پوست، شستشوی قلیایی، براق ماشین، جلا |
| خلوص | 99.95٪ |
| مواد | W1 |
| تراکم | 19.3 گرم بر سانتی متر مکعب |
| استانداردهای اجرایی | GB/T 4181-2017 |
| نقطه ذوب | 3400 ℃ |
| محتوای ناخالصی | 0.005٪ |
| اجزای اصلی | W＞99.95٪ |
| محتوای ناخالصی≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. کارخانه ما در شهر Luoyang، استان هنان واقع شده است. Luoyang یک منطقه تولید برای معادن تنگستن و مولیبدن است، بنابراین ما مزایای مطلق در کیفیت و قیمت داریم.
2. شرکت ما دارای پرسنل فنی با بیش از 15 سال تجربه است و ما راه حل ها و پیشنهادات هدفمند را برای نیازهای هر مشتری ارائه می دهیم.
3. همه محصولات ما قبل از صادرات تحت بازرسی کیفیت دقیق قرار می گیرند.
4. اگر کالای معیوب دریافت کردید، می توانید برای بازپرداخت با ما تماس بگیرید.
1. انتخاب مواد خام
(مواد خام تنگستن با کیفیت بالا را برای اطمینان از خلوص و خواص مکانیکی محصول نهایی انتخاب کنید.)
2. ذوب و تصفیه
(مواد خام تنگستن منتخب در یک محیط کنترل شده ذوب می شوند تا ناخالصی ها از بین برود و خلوص مورد نظر حاصل شود.)
3. کشیدن سیم
(ماده تنگستن خالص شده اکسترود می شود یا از طریق یک سری قالب ها کشیده می شود تا به قطر سیم و خواص مکانیکی مورد نیاز دست یابد.)
4. آنیلینگ
(سیم تنگستن کشیده شده برای از بین بردن تنش داخلی و بهبود شکل پذیری و عملکرد پردازش آنیل می شود)
5. فرآیند کاشت یون
در این مورد خاص، خود رشته تنگستن ممکن است تحت یک فرآیند کاشت یون قرار گیرد، که در آن یون‌ها به سطح رشته تنگستن تزریق می‌شوند تا خواص آن را تغییر دهند تا عملکرد در کاشت یونی افزایش یابد.)
در فرآیند تولید تراشه نیمه هادی، دستگاه کاشت یون یکی از تجهیزات کلیدی است که برای انتقال نمودار مدار تراشه از ماسک به ویفر سیلیکونی و دستیابی به عملکرد تراشه هدف استفاده می شود. این فرآیند شامل مراحلی مانند پرداخت مکانیکی شیمیایی، رسوب لایه نازک، فوتولیتوگرافی، اچینگ و کاشت یونی است که در این میان کاشت یون یکی از ابزارهای مهم برای بهبود عملکرد ویفرهای سیلیکونی است. استفاده از ماشین های کاشت یون به طور موثر زمان و هزینه تولید تراشه را کنترل می کند و در عین حال عملکرد و قابلیت اطمینان تراشه ها را بهبود می بخشد.
بله، رشته های تنگستن در طول فرآیند کاشت یون مستعد آلودگی هستند. آلودگی می تواند به دلیل عوامل مختلفی مانند گازهای باقیمانده، ذرات یا ناخالصی های موجود در محفظه کاشت یون رخ دهد. این آلاینده ها می توانند به سطح رشته تنگستن بچسبند و بر خلوص آن تأثیر بگذارند و به طور بالقوه بر عملکرد فرآیند کاشت یون تأثیر بگذارند. بنابراین، حفظ یک محیط تمیز و کنترل شده در محفظه کاشت یون برای به حداقل رساندن خطر آلودگی و اطمینان از یکپارچگی رشته تنگستن بسیار مهم است. روش های تمیز کردن و نگهداری منظم نیز می تواند به کاهش احتمال آلودگی در طول کاشت یون کمک کند.
سیم تنگستن به دلیل نقطه ذوب بالا و خواص مکانیکی عالی خود شناخته شده است که آن را در برابر تغییر شکل تحت شرایط کاشت یون معمولی مقاوم می کند. با این حال، گرمای تولید شده در طی بمباران یونی پرانرژی و کاشت یون می تواند در طول زمان باعث ایجاد اعوجاج شود، به خصوص اگر پارامترهای فرآیند به دقت کنترل نشوند.
عواملی مانند شدت و مدت پرتو یونی و سطوح دما و تنش تجربه شده توسط سیم تنگستن همگی می توانند در پتانسیل تغییر شکل نقش داشته باشند. علاوه بر این، هرگونه ناخالصی یا نقص در سیم تنگستن، حساسیت به تغییر شکل را تشدید می کند.
برای کاهش خطر تغییر شکل، پارامترهای فرآیند باید به دقت نظارت و کنترل شوند، از خلوص و کیفیت رشته تنگستن اطمینان حاصل شود، و پروتکل های نگهداری و بازرسی مناسب برای تجهیزات کاشت یون باید اجرا شود. ارزیابی منظم وضعیت و عملکرد سیم تنگستن می تواند به شناسایی علائم اعوجاج و انجام اقدامات اصلاحی در صورت نیاز کمک کند.
