مواد مورد استفاده برای رسوب بخار فیزیکی (PVD) بسته به کاربرد خاص و خواص پوشش مورد نظر می تواند متفاوت باشد. مواد متداول مورد استفاده برای PVD شامل فلزاتی مانند تیتانیوم، کروم، آلومینیوم و آلیاژهای آنها و همچنین سرامیک و سایر ترکیبات است.

برخی از پرکاربردترین مواد برای پوشش PVD عبارتند از:

1. تیتانیوم و آلیاژهای تیتانیوم: در کاربردهایی که نیاز به مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و زیست سازگاری دارند استفاده می شود.

2. کروم و نیترید کروم: برای ایجاد سختی عالی، مقاومت در برابر سایش و پرداخت های تزئینی شناخته شده است.

3. آلومینیوم و آلیاژهای آلومینیوم: برای تشکیل پوشش های محافظ و تزئینی با مقاومت چسبندگی و خوردگی خوب استفاده می شود.

4. نیترید زیرکونیوم و نیترید تیتانیوم: به دلیل سختی، مقاومت در برابر سایش و روکش طلایی تزئینی معروف هستند.

5. نیترید سیلیکون و کاربید سیلیکون: در شرایطی که نیاز به مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر سایش و اصطکاک کم دارند استفاده می شود.

این مواد با استفاده از فرآیند PVD بر روی بسترها قرار می گیرند تا خواص سطحی خود را افزایش دهند و مزایایی مانند افزایش سختی، مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی و زیبایی شناسی را ارائه دهند.