Sputter sihtmärgidon materjalid, mida kasutatakse õhukeste kilede sadestamiseks substraatidele füüsilise aurustamise-sadestamise (PVD) käigus.Sihtmaterjali pommitatakse suure energiaga ioonidega, mille tagajärjel paiskuvad sihtpinnalt aatomid välja.Need pihustatud aatomid sadestatakse seejärel substraadile, moodustades õhukese kile.Pommitavaid sihtmärke kasutatakse tavaliselt pooljuhtide, päikesepatareide ja muude elektroonikaseadmete tootmisel.Need on tavaliselt valmistatud metallidest, sulamitest või ühenditest, mis valitakse sadestatud kile soovitud omaduste põhjal.

Pihustamisprotsessi mõjutavad mitmed parameetrid, sealhulgas:

1. Pommitamisvõimsus: pihustusprotsessi ajal rakendatav võimsus mõjutab pihustatud ioonide energiat, mõjutades seeläbi pommitamiskiirust.

2. Pommitamisgaasi rõhk: pihustusgaasi rõhk kambris mõjutab pihustatud ioonide impulsi ülekannet, mõjutades seeläbi pihustuskiirust ja kile jõudlust.

3. Sihtmärgi omadused: pihustusobjekti füüsikalised ja keemilised omadused, nagu koostis, kõvadus, sulamistemperatuur jne, võivad mõjutada pihustusprotsessi ja sadestunud kile jõudlust.

4. Sihtmärgi ja substraadi vaheline kaugus: pihustusobjekti ja substraadi vaheline kaugus mõjutab pihustatud aatomite trajektoori ja energiat, mõjutades seeläbi kile sadestumise kiirust ja ühtlust.

5. Võimsustihedus: sihtpinnale rakendatav võimsustihedus mõjutab pihustuskiirust ja pihustusprotsessi tõhusust.

Neid parameetreid hoolikalt kontrollides ja optimeerides saab pihustusprotsessi kohandada soovitud kile omaduste ja sadestuskiiruste saavutamiseks.