Kõrge puhtusastmega ioonide implantatsiooni volframfilament
Ioonide siirdamise volframtraat on ioonide implanteerimismasinate põhikomponent, mida kasutatakse peamiselt pooljuhtide tootmisprotsessides. Seda tüüpi volframtraat mängib pooljuhtseadmetes olulist rolli ning selle kvaliteet ja jõudlus mõjutavad otseselt IC protsessiliinide tõhusust. Ioonide siirdamismasin on VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit) tootmisprotsessi võtmeseade ning volframtraadi rolli iooniallikana ei saa eirata.
| Mõõtmed | Nagu teie joonised |
| Päritolukoht | Luoyang, Henan |
| Kaubamärgi nimi | FGD |
| Rakendus | pooljuht |
| Pind | Must nahk, leelispesu, auto läikiv, poleeritud |
| Puhtus | 99,95% |
| Materjal | W1 |
| Tihedus | 19,3g/cm3 |
| Täitmisstandardid | GB/T 4181-2017 |
| Sulamistemperatuur | 3400 ℃ |
| Lisandite sisaldus | 0,005% |
| Peamised komponendid | W＞99,95% |
| Lisandite sisaldus ≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Meie tehas asub Luoyangi linnas Henani provintsis. Luoyang on volframi- ja molübdeenikaevanduste tootmispiirkond, seega on meil kvaliteedi ja hinna osas absoluutsed eelised;
2. Meie ettevõttes on üle 15-aastase kogemusega tehniline personal ning pakume iga kliendi vajadustele suunatud lahendusi ja ettepanekuid.
3. Kõik meie tooted läbivad enne eksportimist range kvaliteedikontrolli.
4. Kui saate defektse kauba, võite raha tagastamiseks meiega ühendust võtta.
1.Tooraine valik
(Valige kvaliteetsed volframi toorained, et tagada lõpptoote puhtus ja mehaanilised omadused. )
2. Sulamine ja puhastamine
(Valitud volframi toorained sulatatakse kontrollitud keskkonnas, et eemaldada lisandid ja saavutada soovitud puhtus.)
3. Traadi tõmbamine
(Vajaliku traadi läbimõõdu ja mehaaniliste omaduste saavutamiseks ekstrudeeritakse või tõmmatakse puhastatud volframmaterjal läbi stantside seeria.)
4.Lõõmutamine
(Tõmbatud volframtraat lõõmutatakse, et kõrvaldada sisemine pinge ning parandada selle elastsust ja töötlemisvõimet )
5. Ioonide siirdamise protsess
Sel konkreetsel juhul võib volframfilament ise läbida ioonide implanteerimisprotsessi, mille käigus ioone süstitakse volframhõõgniidi pinnale, et muuta selle omadusi, et parandada iooniimplanteri jõudlust.)
Pooljuhtkiibi tootmisprotsessis on ioonide siirdamismasin üks peamisi seadmeid, mida kasutatakse kiibi vooluringi skeemi ülekandmiseks maskist räniplaadile ja kiibi sihtfunktsiooni saavutamiseks. See protsess hõlmab selliseid etappe nagu keemiline mehaaniline poleerimine, õhukese kile sadestamine, fotolitograafia, söövitamine ja ioonide implanteerimine, mille hulgas on ioonide implanteerimine üks olulisi vahendeid räniplaatide jõudluse parandamiseks. Ioonide implanteerimismasinate rakendamine kontrollib tõhusalt kiibi tootmise aega ja kulusid, parandades samal ajal kiipide jõudlust ja töökindlust.
Jah, volframniidid on ioonide implanteerimise käigus vastuvõtlikud saastumisele. Saastumine võib tekkida mitmesuguste tegurite tõttu, nagu ioonide implanteerimiskambris olevad jääkgaasid, osakesed või lisandid. Need saasteained võivad kleepuda volframhõõgniidi pinnale, mõjutades selle puhtust ja potentsiaalselt ioonide implanteerimisprotsessi toimivust. Seetõttu on ioonide implanteerimiskambris puhta ja kontrollitud keskkonna säilitamine saastumise ohu minimeerimiseks ja volframhõõgniidi terviklikkuse tagamiseks kriitilise tähtsusega. Regulaarsed puhastus- ja hooldusprotseduurid võivad samuti aidata vähendada võimalikku saastumist ioonide implanteerimise ajal.
Volframtraat on tuntud oma kõrge sulamistemperatuuri ja suurepäraste mehaaniliste omaduste poolest, mis muudavad selle normaalsetes ioonide implantatsioonitingimustes deformatsioonile vastupidavaks. Suure energiaga ioonide pommitamise ja ioonide implanteerimise käigus tekkiv soojus võib aga aja jooksul põhjustada moonutusi, eriti kui protsessi parameetreid hoolikalt ei kontrollita.
Sellised tegurid nagu ioonkiire intensiivsus ja kestus ning volframtraadi temperatuur ja pingetase võivad kõik kaasa aidata deformatsioonipotentsiaalile. Lisaks suurendavad volframtraadi lisandid või defektid vastuvõtlikkust deformatsioonile.
Deformatsiooniohu vähendamiseks tuleb hoolikalt jälgida ja kontrollida protsessi parameetreid, tagada volframhõõgniidi puhtus ja kvaliteet ning rakendada ioonide implanteerimisseadmetele vastavad hooldus- ja kontrolliprotokollid. Volframtraadi seisukorra ja jõudluse regulaarne hindamine võib aidata tuvastada moonutusi ja võtta vajadusel parandusmeetmeid.
