Hay un haz de iones de aire serio en un material sólido, el haz de iones a átomos o moléculas del material sólido en la superficie del material sólido, este fenómeno se llama pulverización catódica del haz de iones; y cuando el material sólido, la superficie del material sólido rebota, o sale del material sólido a estos fenómenos se llama dispersión; Hay otro fenómeno que después del haz de iones al material sólido a través del material sólido y reduce la resistencia lentamente y finalmente permanece en materiales sólidos, este fenómeno se llama implantación de iones.
Técnica de implantación de iones:
Es un tipo de tecnología de modificación de superficies de materiales que se ha desarrollado rápidamente y se ha utilizado ampliamente en el mundo en los últimos 30 años. El principio básico es utilizar la energía del haz de iones incidente del orden de 100 keV en el material del haz de iones y los materiales de los átomos o moléculas serán una serie de interacciones físicas y químicas, la energía de los iones incidentes se perderá gradualmente, la última parada en el material y provocar cambios en la estructura y las propiedades de la composición de la superficie del material. Para optimizar las propiedades superficiales de los materiales, o para obtener algunas propiedades nuevas. La nueva tecnología, debido a sus ventajas únicas, se ha utilizado ampliamente en materiales semiconductores dopados, metales, cerámicas y polímeros, y la modificación de superficies ha logrado grandes beneficios económicos y sociales.
La implantación de iones como tecnología dopante importante en la tecnología microelectrónica desempeña un papel clave en la optimización de las propiedades superficiales de los materiales. La tecnología de implantación de iones tiene un rendimiento a muy altas temperaturas y resistencia a la corrosión química del material. Por tanto, las partes principales de la cámara de ionización están hechas de materiales de tungsteno, molibdeno o grafito. Gemei años de investigación y producción industrial mediante implantación de iones de material de tungsteno molibdeno, el proceso de producción tiene una experiencia rica y estable.