Estas serioza aero jono fasko en solida materialo, la jona fasko al solida materialo atomoj aŭ molekuloj en solida materiala surfaco, ĉi tiu fenomeno nomiĝas jona fasko sputtering; kaj kiam la solida materialo, la surfaco de solida materialo resaltis reen, aŭ el solida materialo al ĉi tiuj fenomenoj nomiĝas disvastigo; ekzistas alia fenomeno estas ke post la jono fasko al la solida materialo per solida materialo kaj redukti la reziston malrapide malsupren, kaj finfine resti en solidaj materialoj, ĉi tiu fenomeno nomiĝas jono enplantado.
Tekniko de enplantado de jonoj:
Estas speco de materiala surfaca modifa teknologio, kiu disvolviĝis rapide kaj vaste uzata en la mondo en la lastaj 30 jaroj. La baza principo estas uzi la energion de jona fasko okazanta al la ordo de 100keV materialo al jona fasko kaj la materialoj de la atomoj aŭ molekuloj estos serio de fizikaj kaj kemiaj interagoj, la okazanta jona energio perdo iom post iom, la lasta halto en la materialo, kaj kaŭzi la strukturon kaj ecojn de materiala surfaca komponado, ŝanĝiĝas. Por optimumigi la surfacajn ecojn de materialoj, aŭ por akiri iujn novajn ecojn. La nova teknologio pro siaj unikaj avantaĝoj, estis en la dopita semikondukta materialo, metalo, ceramiko, polimero, surfaca modifo estas vaste uzata, atingis grandajn ekonomiajn kaj sociajn avantaĝojn.
Jon-enplantado kiel grava dopa teknologio en mikroelektronika teknologio ludas ŝlosilan rolon en optimumigado de la surfacaj propraĵoj de la materialoj. La teknologio de enplantado de jonoj estas tre alta temperatura rendimento kaj rezisto al kemia koroda rezisto de la materialo. Tial, la ĉefaj partoj de la joniga ĉambro estas faritaj el volframo, molibdeno aŭ grafitaj materialoj. Gemei jaroj da industria esplorado kaj produktado per jona enplantado de volframa molibdena materialo, la produktada procezo havas stabilan kaj riĉan sperton.