Alta pureca Jona enplantado de tungstena filamento
Jon-enplantada volframa drato estas ŝlosila komponanto uzata en jon-enplantadmaŝinoj, ĉefe en semikonduktaĵaj produktadprocezoj. Ĉi tiu tipo de volframa drato ludas gravan rolon en duonkonduktaĵo-ekipaĵo, kaj ĝia kvalito kaj agado rekte influas la efikecon de IC-procezaj linioj. Jon-enplanta maŝino estas ŝlosila ekipaĵo en la produktada procezo de VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), kaj la rolo de volframa drato kiel jona fonto ne povas esti ignorita.
| Dimensioj | Kiel viaj desegnaĵoj |
| Loko de Origino | Luoyang, Henano |
| Marka Nomo | FGD |
| Apliko | duonkonduktaĵo |
| Surfaco | Nigra haŭto, alkala lavo, aŭto-brilo, polurita |
| Pureco | 99,95 % |
| Materialo | W1 |
| Denso | 19,3 g/cm3 |
| Normoj de ekzekuto | GB/T 4181-2017 |
| Fandpunkto | 3400℃ |
| Malpura enhavo | 0,005% |
| Ĉefaj komponantoj | W>99.95% |
| Malpura enhavo≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Nia fabriko situas en la urbo Luoyang, la provinco Henan. Luoyang estas produkta areo por minoj de volframo kaj molibdeno, do ni havas absolutajn avantaĝojn en kvalito kaj prezo;
2. Nia kompanio havas teknikan dungitaron kun pli ol 15-jara sperto, kaj ni provizas celitajn solvojn kaj sugestojn por la bezonoj de ĉiu kliento.
3. Ĉiuj niaj produktoj spertas striktan kvalitan inspektadon antaŭ ol esti eksportitaj.
4. Se vi ricevas misajn varojn, vi povas kontakti nin por repago.
1.Kruda materiala elekto
(Elektu altkvalitajn tungstenajn krudaĵojn por certigi la purecon kaj mekanikajn ecojn de la fina produkto. )
2. Fandado kaj Purigo
(Elektitaj tungstenaj krudaĵoj estas fanditaj en kontrolita medio por forigi malpuraĵojn kaj atingi la deziratan purecon.)
3. Drato desegno
(Purigita volframa materialo estas eltrudita aŭ tirita tra serio de ĵetkuboj por atingi la postulatan dratdiametron kaj mekanikajn trajtojn.)
4.Kuzo
(La desegnita volframa drato estas kalzita por forigi internan streson kaj plibonigi sian flekseblecon kaj pretigan rendimenton )
5. Iona Implantada Procezo
En tiu speciala kazo, la volframfilamento mem povas sperti ion-enplantadprocezon, en kiu jonoj estas injektitaj en la surfacon de la volframfilamento por ŝanĝi siajn trajtojn por plifortigi efikecon en la jonenplantilo. )
En la produktadprocezo de semikonduktaĵa blato, jona enplanta maŝino estas unu el la ŝlosilaj ekipaĵoj uzataj por translokigi la blatan cirkvito-diagramon de la masko al la silicioblato kaj atingi la celitan blaton funkcion. Ĉi tiu procezo inkluzivas ŝtupojn kiel kemia mekanika polurado, maldika filmdemetado, fotolitografio, akvaforto kaj jon-enplantado, inter kiuj jon-enplantado estas unu el la gravaj rimedoj por plibonigi la agadon de silicioblatoj. La aplikado de jon-enplantaj maŝinoj efike kontrolas la tempon kaj koston de produktado de blatoj, plibonigante la rendimenton kaj fidindecon de blatoj.
Jes, volframaj filamentoj estas susceptibles al poluado dum la procezo de enplantado de jonoj. Poluado povas okazi pro diversaj faktoroj, kiel restaj gasoj, partikloj aŭ malpuraĵoj ĉeestantaj en la jon-enplantadkamero. Tiuj poluaĵoj povas aliĝi al la surfaco de la volframfilamento, influante ĝian purecon kaj eble influante la efikecon de la jon-enplantadprocezo. Tial, konservi puran kaj kontrolitan medion ene de la jona enplantadĉambro estas kritika por minimumigi la riskon de poluado kaj certigi la integrecon de la volframa filamento. Regulaj purigado kaj prizorgadoproceduroj ankaŭ povas helpi mildigi la potencialon por poluado dum jonenplantado.
Volframa drato estas konata pro sia alta frostopunkto kaj bonegaj mekanikaj trajtoj, kiuj igas ĝin imuna al deformado sub normalaj jon-enplantaj kondiĉoj. Tamen, la varmeco generita dum alt-energia jonbombado kaj jonenplantado povas kaŭzi misprezenton dum tempo, precipe se procezparametroj ne estas singarde kontrolitaj.
Faktoroj kiel ekzemple la intenseco kaj tempodaŭro de la jonradio kaj la temperaturo kaj stresniveloj travivitaj per la volframdrato povas ĉiuj kontribui al la potencialo por deformado. Plie, ĉiuj malpuraĵoj aŭ difektoj en la volframa drato pliseverigos malsaniĝemecon al deformado.
Por redukti la riskon de deformado, procezaj parametroj devas esti zorge kontrolitaj kaj kontrolitaj, la pureco kaj kvalito de la volframa filamento devas esti certigitaj, kaj taŭgaj prizorgado kaj inspektado protokoloj devas esti efektivigitaj por la jona enplantado ekipaĵo. Regule taksi la kondiĉon kaj agadon de volframa drato povas helpi identigi iujn ajn signojn de misprezento kaj preni korektajn agojn laŭbezone.
