Es gibt einen schweren Luftionenstrahl in ein festes Material, der Ionenstrahl auf feste Materialatome oder -moleküle in fester Materialoberfläche, dieses Phänomen wird als Ionenstrahlsputtern bezeichnet; und wenn das feste Material von der Oberfläche des festen Materials zurückprallt oder aus dem festen Material herausspringt, werden diese Phänomene als Streuung bezeichnet. Es gibt ein weiteres Phänomen: Nachdem der Ionenstrahl auf das feste Material trifft und der Widerstand langsam abnimmt und schließlich im festen Material verbleibt, wird dieses Phänomen als Ionenimplantation bezeichnet.
Ionenimplantationstechnik:
Ist eine Art Materialoberflächenmodifikationstechnologie, die sich in den letzten 30 Jahren schnell weiterentwickelt und weltweit weit verbreitet ist. Das Grundprinzip besteht darin, die Energie des einfallenden Ionenstrahls in der Größenordnung von 100 keV zu verwenden, um den Ionenstrahl und die Materialien der Atome oder Moleküle einer Reihe physikalischer und chemischer Wechselwirkungen zu unterziehen das Material und bewirken, dass sich die Struktur und die Eigenschaften der Materialoberflächenzusammensetzung verändern. Um die Oberflächeneigenschaften von Materialien zu optimieren oder neue Eigenschaften zu erhalten. Aufgrund ihrer einzigartigen Vorteile hat die neue Technologie bei der Dotierung von Halbleitermaterialien, Metallen, Keramiken und Polymeren weit verbreitete Oberflächenmodifikationen durchgeführt und große wirtschaftliche und soziale Vorteile erzielt.
Die Ionenimplantation spielt als wichtige Dotierungstechnologie in der Mikroelektroniktechnik eine Schlüsselrolle bei der Optimierung der Oberflächeneigenschaften der Materialien. Die Ionenimplantationstechnologie zeichnet sich durch eine sehr hohe Temperaturleistung und Beständigkeit des Materials gegenüber chemischer Korrosion aus. Daher bestehen die Hauptteile der Ionisationskammer aus Wolfram-, Molybdän- oder Graphitmaterialien. Gemei jahrelange Industrieforschung und Produktion durch Ionenimplantation von Wolfram-Molybdän-Material, der Produktionsprozess verfügt über stabile und reiche Erfahrung.
Heiße Produkte für die Ionenimplantation
