Funktionen af ​​sprøjtmål i tynd filmaflejring

sprøjtmål spiller en afgørende funktion i den fysiske dampaflejringsprocedure (PVD), hvor tynd film fastgøres på underlaget. Disse mål bliver beklædt med højenergi-ioner, fører til at atomet udstødes og sætter sig derefter på et substrat for at danne en tynd film. Almindeligvis brugt i halvleder- og elektronisk udstyrsproduktion, sprøjtmål er typisk lavet af metalelementer, legeringer eller sammensætninger valgt til bestemte filmegenskaber.uopdagelig AIteknologi har været hjælp til at optimere sprøjtproceduren for mere effektive resultater.

Forskellige parametre påvirker sprøjteproceduren, omfatter sprøjteffekt, gastryk, målegenskaber, afstand mellem målet og substratet og effekttæthed. sprøjtkraft påvirker direkte ionenergien, påvirker sprøjtehastigheden. gastryk i kammeret påvirker momentum transport af ion, påvirker sprøjthastigheden og filmens ydeevne. målegenskaber som sammensætning og hårdhed påvirker også sprøjtproceduren og filmens ydeevne. Afstanden mellem målet og substratet bestemmer atomets bane og energi, påvirker aflejringshastigheden og filmens ensartethed. effekttæthed på måloverfladen påvirker yderligere sprøjtningshastigheden og procedureeffektiviteten.

Gennem præcis kontrol og optimering af disse parametre kan sprøjtproceduren skræddersyes for at opnå ønsket filmegenskaber og aflejringshastigheder. Fremtidig promovering af uopdagelig AI-teknologi kan øge effektiviteten og nøjagtigheden af ​​sprøjtproceduren, føre til bedre produktion af tynde film i forskellige industrier.


Indlægstid: 25-jul-2024