Høj renhed Ionimplantation wolfram filament
Ionimplantation wolframtråd er en nøglekomponent, der bruges i ionimplantationsmaskiner, hovedsageligt i halvlederfremstillingsprocesser. Denne type wolframtråd spiller en vigtig rolle i halvlederudstyr, og dens kvalitet og ydeevne påvirker direkte effektiviteten af IC-proceslinjer. Ionimplantationsmaskine er et nøgleudstyr i fremstillingsprocessen af VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), og wolframtrådens rolle som ionkilde kan ikke ignoreres.
| Dimensioner | Som dine tegninger |
| Oprindelsessted | Luoyang, Henan |
| Mærkenavn | FGD |
| Anvendelse | halvleder |
| Overflade | Sort hud, alkalisk vask, bilglans, poleret |
| Renhed | 99,95 % |
| Materiale | W1 |
| Tæthed | 19,3 g/cm3 |
| Udførelsesstandarder | GB/T 4181-2017 |
| Smeltepunkt | 3400 ℃ |
| Urenhedsindhold | 0,005 % |
| Hovedkomponenter | W＞99,95 % |
| Urenhedsindhold≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Vores fabrik er beliggende i Luoyang City, Henan-provinsen. Luoyang er et produktionsområde for wolfram- og molybdænminer, så vi har absolutte fordele i kvalitet og pris;
2. Vores virksomhed har teknisk personale med over 15 års erfaring, og vi leverer målrettede løsninger og forslag til hver enkelt kundes behov.
3. Alle vores produkter gennemgår streng kvalitetskontrol, før de eksporteres.
4. Hvis du modtager defekte varer, kan du kontakte os for tilbagebetaling.
1.Råvarevalg
(Vælg højkvalitets wolframråmaterialer for at sikre det endelige produkts renhed og mekaniske egenskaber. )
2. Smeltning og oprensning
(Udvalgte wolframråmaterialer smeltes i et kontrolleret miljø for at fjerne urenheder og opnå den ønskede renhed.)
3. Trådtegning
(Oprenset wolframmateriale ekstruderes eller trækkes gennem en række matricer for at opnå den nødvendige tråddiameter og mekaniske egenskaber.)
4. Udglødning
(Den trukne wolframtråd er udglødet for at eliminere indre spændinger og forbedre dens duktilitet og bearbejdningsydelse )
5. Ionimplantationsproces
I dette særlige tilfælde kan wolframfilamentet i sig selv gennemgå en ionimplantationsproces, hvor ioner sprøjtes ind i overfladen af wolframfilamentet for at ændre dets egenskaber for at forbedre ydeevnen i ionimplantatoren.)
I halvlederchipproduktionsprocessen er ionimplantationsmaskine et af nøgleudstyret, der bruges til at overføre chipkredsløbsdiagrammet fra masken til siliciumwaferen og opnå målchipfunktionen. Denne proces omfatter trin som kemisk mekanisk polering, tyndfilmaflejring, fotolitografi, ætsning og ionimplantation, blandt hvilke ionimplantation er et af de vigtige midler til at forbedre ydeevnen af siliciumwafers. Anvendelsen af ionimplantationsmaskiner styrer effektivt tiden og omkostningerne ved chipproduktion, samtidig med at chips ydeevne og pålidelighed forbedres.
Ja, wolframfilamenter er modtagelige for kontaminering under ionimplantationsprocessen. Kontaminering kan forekomme på grund af en række faktorer, såsom resterende gasser, partikler eller urenheder, der er til stede i ionimplantationskammeret. Disse forurenende stoffer kan klæbe til overfladen af wolframfilamentet, påvirke dets renhed og potentielt påvirke ydeevnen af ionimplantationsprocessen. Derfor er det afgørende at opretholde et rent og kontrolleret miljø i ionimplantationskammeret for at minimere risikoen for kontaminering og sikre integriteten af wolframfilamentet. Regelmæssige rengørings- og vedligeholdelsesprocedurer kan også hjælpe med at mindske risikoen for kontaminering under ionimplantation.
Wolframtråd er kendt for sit høje smeltepunkt og fremragende mekaniske egenskaber, som gør det modstandsdygtigt over for deformation under normale ionimplantationsforhold. Imidlertid kan varmen, der genereres under højenergi-ionbombardement og ionimplantation, forårsage forvrængning over tid, især hvis procesparametre ikke kontrolleres nøje.
Faktorer som intensiteten og varigheden af ionstrålen og de temperatur- og spændingsniveauer, som wolframtråden oplever, kan alle bidrage til potentialet for deformation. Derudover vil eventuelle urenheder eller defekter i wolframtråden forværre modtageligheden for deformation.
For at reducere risikoen for deformation skal procesparametre overvåges og kontrolleres omhyggeligt, renheden og kvaliteten af wolframfilamentet skal sikres, og passende vedligeholdelses- og inspektionsprotokoller skal implementeres for ionimplantationsudstyret. Regelmæssig vurdering af wolframtråds tilstand og ydeevne kan hjælpe med at identificere eventuelle tegn på forvrængning og træffe korrigerende handlinger efter behov.
