Purdeb uchel Ion mewnblannu ffilament twngsten
Mae gwifren twngsten mewnblannu ïon yn elfen allweddol a ddefnyddir mewn peiriannau mewnblannu ïon, yn bennaf mewn prosesau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Mae'r math hwn o wifren twngsten yn chwarae rhan bwysig mewn offer lled-ddargludyddion, ac mae ei ansawdd a'i berfformiad yn effeithio'n uniongyrchol ar effeithlonrwydd llinellau proses IC. Mae peiriant mewnblannu ïon yn offer allweddol ym mhroses weithgynhyrchu VLSI (Cylchdaith Integredig ar Raddfa Fawr Iawn), ac ni ellir anwybyddu rôl gwifren twngsten fel ffynhonnell ïon.
Dimensiynau | Fel eich lluniau |
Man Tarddiad | Luoyang, Henan |
Enw Brand | FGD |
Cais | lled-ddargludydd |
Arwyneb | Croen du, golchi alcali, disgleirio car, caboledig |
Purdeb | 99.95% |
Deunydd | W1 |
Dwysedd | 19.3g/cm3 |
Safonau gweithredu | GB/T 4181-2017 |
Ymdoddbwynt | 3400 ℃ |
Cynnwys amhuredd | 0.005% |
Prif gydrannau | W> 99.95% |
Cynnwys amhuredd≤ | |
Pb | 0.0005 |
Fe | 0.0020 |
S | 0.0050 |
P | 0.0005 |
C | 0.01 |
Cr | 0.0010 |
Al | 0.0015 |
Cu | 0.0015 |
K | 0.0080 |
N | 0.003 |
Sn | 0.0015 |
Si | 0.0020 |
Ca | 0.0015 |
Na | 0.0020 |
O | 0.008 |
Ti | 0.0010 |
Mg | 0.0010 |
1. Mae ein ffatri wedi ei leoli yn Ninas Luoyang, Talaith Henan. Mae Luoyang yn faes cynhyrchu ar gyfer mwyngloddiau twngsten a molybdenwm, felly mae gennym fanteision absoliwt o ran ansawdd a phris;
2. Mae gan ein cwmni bersonél technegol gyda dros 15 mlynedd o brofiad, ac rydym yn darparu atebion wedi'u targedu ac awgrymiadau ar gyfer anghenion pob cwsmer.
3. Mae ein holl gynnyrch yn cael arolygiad ansawdd llym cyn cael eu hallforio.
4. Os ydych chi'n derbyn nwyddau diffygiol, gallwch gysylltu â ni am ad-daliad.
Dewis deunydd 1.Raw
(Dewiswch ddeunyddiau crai twngsten o ansawdd uchel i sicrhau purdeb a phriodweddau mecanyddol y cynnyrch terfynol. )
2. Toddi a Phuro
(Mae deunyddiau crai twngsten dethol yn cael eu toddi mewn amgylchedd rheoledig i gael gwared ar amhureddau a chyflawni'r purdeb a ddymunir.)
3. Wire darlunio
(Mae deunydd twngsten wedi'i buro yn cael ei allwthio neu ei dynnu trwy gyfres o farw i gyflawni'r diamedr gwifren a'r priodweddau mecanyddol gofynnol.)
4.Annealing
(Mae'r wifren twngsten wedi'i thynnu'n cael ei hanelio i ddileu straen mewnol a gwella ei hydwythedd a'i pherfformiad prosesu )
5. Proses Mewnblannu Ion
Yn yr achos penodol hwn, gall y ffilament twngsten ei hun fynd trwy broses mewnblannu ïon, lle mae ïonau'n cael eu chwistrellu i wyneb y ffilament twngsten i newid ei briodweddau i wella perfformiad yn y mewnblanwr ïon.)
Yn y broses gynhyrchu sglodion lled-ddargludyddion, mae peiriant mewnblannu ïon yn un o'r offer allweddol a ddefnyddir i drosglwyddo'r diagram cylched sglodion o'r mwgwd i'r wafer silicon a chyflawni'r swyddogaeth sglodion targed. Mae'r broses hon yn cynnwys camau fel caboli mecanyddol cemegol, dyddodiad ffilm tenau, ffotolithograffeg, ysgythru, a mewnblannu ïon, ymhlith y mae mewnblannu ïon yn un o'r ffyrdd pwysig o wella perfformiad wafferi silicon. Mae cymhwyso peiriannau mewnblannu ïon yn rheoli amser a chost cynhyrchu sglodion yn effeithiol, tra'n gwella perfformiad a dibynadwyedd sglodion.
Ydy, mae ffilamentau twngsten yn agored i halogiad yn ystod y broses mewnblannu ïon. Gall halogiad ddigwydd oherwydd amrywiaeth o ffactorau, megis nwyon gweddilliol, gronynnau, neu amhureddau sy'n bresennol yn y siambr mewnblannu ïon. Gall yr halogion hyn gadw at wyneb y ffilament twngsten, gan effeithio ar ei burdeb ac o bosibl effeithio ar berfformiad y broses mewnblannu ïon. Felly, mae cynnal amgylchedd glân a rheoledig yn y siambr mewnblannu ïon yn hanfodol i leihau'r risg o halogiad a sicrhau cywirdeb y ffilament twngsten. Gall gweithdrefnau glanhau a chynnal a chadw rheolaidd hefyd helpu i liniaru'r posibilrwydd o halogiad wrth fewnblannu ïon.
Mae gwifren twngsten yn adnabyddus am ei phwynt toddi uchel a'i phriodweddau mecanyddol rhagorol, sy'n ei gwneud yn gwrthsefyll anffurfiad o dan amodau mewnblannu ïon arferol. Fodd bynnag, gall y gwres a gynhyrchir yn ystod peledu ïon ynni uchel a mewnblannu ïon achosi afluniad dros amser, yn enwedig os na chaiff paramedrau proses eu rheoli'n ofalus.
Gall ffactorau megis dwyster a hyd y pelydr ïon a'r tymheredd a'r lefelau straen a brofir gan y wifren twngsten oll gyfrannu at y potensial ar gyfer anffurfio. Yn ogystal, bydd unrhyw amhureddau neu ddiffygion yn y wifren twngsten yn gwaethygu'r duedd i anffurfio.
Er mwyn lleihau'r risg o anffurfio, rhaid monitro a rheoli paramedrau proses yn ofalus, rhaid sicrhau purdeb ac ansawdd y ffilament twngsten, a rhaid gweithredu protocolau cynnal a chadw ac archwilio priodol ar gyfer yr offer mewnblannu ïon. Gall asesu cyflwr a pherfformiad gwifren twngsten yn rheolaidd helpu i nodi unrhyw arwyddion o ystumiad a chymryd camau unioni yn ôl yr angen.