Existuje vážný vzduchový iontový paprsek do pevného materiálu, iontový paprsek do atomů pevného materiálu nebo molekul na povrch pevného materiálu, tento jev se nazývá rozprašování iontového paprsku; a když se pevný materiál, povrch pevného materiálu odrazil zpět nebo od pevného materiálu k těmto jevům, nazývá se rozptyl; tam je další jev je, že po iontový paprsek do pevného materiálu pevným materiálem a snížit odpor pomalu dolů, a nakonec zůstat v pevných materiálech, tento jev se nazývá iontové implantace.
Technika iontové implantace:
Jedná se o druh technologie povrchové úpravy materiálů, která se v posledních 30 letech rychle rozvinula a je široce používána ve světě. Základním principem je využití energie iontového paprsku dopadajícího řádově 100keV materiálu na iontový paprsek a materiály atomů nebo molekul budou sérií fyzikálních a chemických interakcí, dopadající iontové energie postupně ztrácejí, poslední zastávkou v materiálu a způsobují změnu struktury a vlastností složení povrchu materiálu. Za účelem optimalizace povrchových vlastností materiálů, případně získání některých nových vlastností. Nová technologie, díky svým jedinečným výhodám, byla v dopovaném polovodičovém materiálu, kovu, keramice, polymeru, je široce používána povrchová úprava, dosáhla velkých ekonomických a sociálních výhod.
Iontová implantace jako důležitá dopingová technologie v mikroelektronické technologii hraje klíčovou roli při optimalizaci povrchových vlastností materiálů. Technologie iontové implantace je výkon při velmi vysokých teplotách a odolnost materiálu vůči chemické korozi. Proto jsou hlavní části ionizační komory vyrobeny z wolframových, molybdenových nebo grafitových materiálů. Gemei let průmyslového výzkumu a výroby iontovou implantací wolframového molybdenového materiálu, výrobní proces má stabilní a bohaté zkušenosti.
Horké produkty pro iontovou implantaci
