Vysoce čistý titanový naprašovací terč pro vakuové nanášení
Rozprašovací elektrody jsou vysoce čisté materiály používané v procesech fyzikálního napařování (PVD), konkrétně technologii naprašování. Tyto materiály se používají k vytváření tenkých vrstev na substrátech v různých průmyslových odvětvích, včetně výroby polovodičů, optických povlaků a nanášení tenkých vrstev pro elektronická zařízení.
Materiály rozprašovacích elektrod mohou být vyrobeny z různých prvků a sloučenin, včetně kovů, slitin, oxidů a nitridů. Výběr materiálu rozprašovací elektrody závisí na specifických vlastnostech požadovaných pro tenký filmový povlak, jako je elektrická vodivost, optické vlastnosti, tvrdost a chemická odolnost.
Mezi běžné naprašovací terče patří kovy, jako je titan, hliník a měď, stejně jako sloučeniny, jako je oxid indium-cín (ITO) a různé oxidy kovů. Výběr vhodného materiálu rozprašovací elektrody je rozhodující pro dosažení požadovaných charakteristik a výkonu tenkých filmových povlaků.
Naprašovací terče se dodávají v různých velikostech v závislosti na specifických požadavcích procesu nanášení tenkých vrstev a naprašovacího zařízení. Velikost rozprašovacího terče se může pohybovat od několika centimetrů do desítek centimetrů v průměru a tloušťka se také může lišit.
Velikost rozprašovací elektrody je určena faktory, jako je velikost substrátu, který má být potažen, konfigurace rozprašovacího systému a požadovaná rychlost nanášení a rovnoměrnost. Kromě toho může být velikost rozprašovací elektrody ovlivněna specifickými požadavky aplikace tenkého filmu, jako je plocha, která má být potažena, a celkové parametry procesu.
Nakonec je velikost rozprašovací elektrody zvolena tak, aby byla zajištěna účinná a rovnoměrná depozice filmu na substrát, splňující specifické potřeby procesu potahování tenkým filmem při výrobě polovodičů, optických povlaků a dalších souvisejících aplikacích.
Existuje několik způsobů, jak zvýšit rychlost naprašování v procesu naprašování:
1. Optimalizace výkonu a tlaku: Úprava parametrů výkonu a tlaku v systému naprašování může ovlivnit rychlost naprašování. Zvýšení výkonu a optimalizace tlakových podmínek může zvýšit rychlost rozprašování, což vede k rychlejšímu nanášení tenkého filmu.
2. Materiál a geometrie terče: Použití naprašovacích terčů s optimalizovaným složením materiálu a geometrií může zlepšit rychlost naprašování. Vysoce kvalitní, dobře navržené naprašovací terče mohou zvýšit účinnost naprašování a vést k vyšším rychlostem nanášení.
3. Příprava povrchu terče: Správné čištění a úprava povrchu naprašovacího terče může přispět ke zvýšení rychlosti naprašování. Zajištěním, že povrch terče neobsahuje nečistoty a oxidy, může zlepšit účinnost naprašování.
4. Teplota substrátu: Řízení teploty substrátu může ovlivnit rychlost rozprašování. V některých případech může zvýšení teploty substrátu v určitém rozsahu vést ke zvýšení rychlosti naprašování a zlepšení kvality filmu.
5. Tok a složení plynu: Optimalizace toku a složení plynu v naprašovací komoře může ovlivnit rychlost naprašování. Nastavením průtoků plynu a použitím vhodných směsí rozprašovacích plynů lze zvýšit účinnost procesu rozprašování.
Pečlivým zvážením těchto faktorů a optimalizací parametrů procesu naprašování je možné zvýšit rychlost naprašování a zlepšit celkovou účinnost nanášení tenkých vrstev v aplikacích naprašování.
Wechat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
