Ci hè un fasciu di ioni di l'aria seriu in un materiale solidu, u fasciu di ioni à atomi di materiale solidu o molécule in a superficia di materiale solidu, stu fenomenu hè chjamatu sputtering di fasciu di ioni; è quandu u materiale solidu, a superficia di materiale solidu rimbalzatu, o fora di materiale solidu à sti fenomeni hè chjamatu scattering; ci hè un altru fenomenu hè chì dopu à u fasciu di ioni à u materiale solidu da materiale solidu è riduce a resistenza pianu pianu, è infine stà in materiali solidi, stu fenominu hè chjamatu implantation ion.
Tecnica di implantazione di ioni:
Hè un tipu di tecnulugia di mudificazione di a superficia di materiale chì hà sviluppatu rapidamente è largamente utilizatu in u mondu in l'ultimi 30 anni. U principiu di basa hè di utilizà l'energia di u fasciu di ioni incidente à l'ordine di materiale 100keV à fasciu di ioni è i materiali di l'atomi o molécule seranu una seria di interazzione fisiche è chimiche, a perdita di energia di ioni incidente gradualmente, l'ultima tappa in u materiale, è causanu a struttura è pruprietà di a cumpusizioni di a superficia materiale, cambia. Per ottimisà e proprietà di a superficia di i materiali, o per ottene alcune proprietà novi. A nova tecnulugia per via di i so vantaghji unichi, hè stata in u materiale semiconductor dopatu, metallu, ceramica, polimeru, mudificazione di a superficia hè largamente utilizata, hà ottinutu grandi benefici ecunomichi è suciali.
L'implantazione di ioni cum'è una tecnulugia di doping impurtante in a tecnulugia micro elettronica ghjoca un rolu chjave in l'ottimisazione di e proprietà di a superficia di i materiali. A tecnulugia di implantazione di ioni hè un rendimentu di temperatura assai altu è resistenza à a resistenza di corrosione chimica di u materiale. Per quessa, i parti principali di a camera di ionizazione sò fatti di tungstenu, molibdenu o materiale di grafite. Gemei anni di ricerca di l'industria è a pruduzzione da l'impiantazione di ioni di u materiale di tungstenu molibdenu, u prucessu di produzzione hà una sperienza stabile è ricca.
Prodotti caldi per l'implantazione di ioni
