Filament de tungstène à implantation d'ions haute pureté
U filu di tungstenu per l'implantazione di ioni hè un cumpunente chjave utilizatu in e macchine di implantazione di ioni, principalmente in i prucessi di fabricazione di semiconduttori. Stu tipu di filu di tungstenu ghjoca un rolu impurtante in l'equipaggiu di semiconductor, è a so qualità è u so rendimentu affettanu direttamente l'efficienza di e linee di prucessu IC. A macchina di implantazione di ioni hè un equipamentu chjave in u prucessu di fabricazione di VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), è u rolu di u filu di tungstenu cum'è fonte di ioni ùn pò esse ignoratu.
| Dimensioni | Cum'è i vostri disegni |
| Locu d'origine | Luoyang, Henan |
| Nome di marca | FGD |
| Applicazione | semiconductor |
| Superficie | Pelle nera, lavatu alkali, lucidatura di vittura, lucida |
| Purità | 99,95% |
| Materiale | W1 |
| Densità | 19,3 g/cm3 |
| Norme di esecuzione | GB/T 4181-2017 |
| Puntu di fusione | 3400 ℃ |
| Cuntenutu impurità | 0,005% |
| Cumpunenti principali | W＞99,95% |
| Cuntenutu di impurità ≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. A nostra fabbrica si trova in Luoyang City, Henan Province. Luoyang hè una zona di pruduzzione per e mine di tungstenu è molibdenu, cusì avemu vantaghji assoluti in qualità è prezzu;
2. A nostra cumpagnia hà un persunale tecnicu cù più di 15 anni di sperienza, è furnimu suluzioni mirati è suggerimenti per i bisogni di ogni cliente.
3. Tutti i nostri prudutti sò sottumessi à un strettu cuntrollu di qualità prima di esse esportatu.
4. Sè avete ricevutu merchenzie difettu, pudete cuntattateci per un rimborsu.
1.Selezzione di materia prima
(Selezziunate materie prime di tungstenu d'alta qualità per assicurà a purità è e proprietà meccaniche di u pruduttu finali. )
2. Melting and Purification
(Le materie prime di tungstenu selezziunate sò fuse in un ambiente cuntrullatu per sguassà impurità è ottene a purità desiderata).
3. Disegnu di filu
(U materiale di tungstenu purificatu hè estrusu o tiratu attraversu una seria di fustelle per ottene u diametru di filu necessariu è e proprietà meccaniche).
4.Annealing
(U filu di tungstenu disegnatu hè ricucitu per eliminà u stress internu è migliurà a so duttilità è a so prestazione di trasfurmazioni )
5. Prucessu di Implantazione Ion
In questu casu particulari, u filamentu di tungstenu stessu pò esse sottumessu à un prucessu di implantazione di ioni, in quale i ioni sò injected in a superficia di u filamentu di tungstenu per cambià e so proprietà per rinfurzà u rendiment in l'implantatore di ioni.)
In u prucessu di produzzione di chip semiconductor, a macchina di implantazione di ioni hè unu di l'equipaggiu chjave utilizatu per trasferisce u schema di circuitu di chip da a maschera à l'ostia di siliciu è ottene a funzione di chip target. Stu prucessu include tappe cum'è a lucidatura meccanica chimica, a deposizione di film sottile, a fotolitografia, l'incisione è l'implantazione di ioni, trà i quali l'implantazione di ioni hè unu di i mezi impurtanti per migliurà a prestazione di wafers di siliciu. L'applicazione di e macchine di implantazione di ioni cuntrolla in modu efficace u tempu è u costu di a produzzione di chip, mentre chì migliurà u rendiment è l'affidabilità di chips.
Iè, i filamenti di tungstenu sò suscettibili à a contaminazione durante u prucessu di implantazione di ioni. A cuntaminazione pò accade per una varietà di fatturi, cum'è gasi residuali, particeddi, o impurità prisenti in a camera di implantazione di ioni. Questi contaminanti ponu aderisce à a superficia di u filamentu di tungstenu, affettendu a so purità è potenzialmente affettendu a prestazione di u prucessu di implantazione di ioni. Dunque, mantene un ambiente pulitu è cuntrullatu in a camera di implantazione di ioni hè criticu per minimizzà u risicu di contaminazione è assicurà l'integrità di u filamentu di tungstenu. E prucedure regulare di pulizia è mantenimentu ponu ancu aiutà à mitigà u potenziale di contaminazione durante l'implantazione di ioni.
U filu di tungstenu hè cunnisciutu per u so altu puntu di fusione è eccellenti proprietà meccaniche, chì u facenu resistente à a deformazione in cundizioni normali di implantazione di ioni. Tuttavia, u calore generatu durante u bumbardamentu di ioni d'alta energia è l'implantazione di ioni pò causà distorsioni cù u tempu, soprattuttu se i paràmetri di u prucessu ùn sò micca cuntrullati currettamente.
Fattori cum'è l'intensità è a durata di u fasciu di ioni è a temperatura è i livelli di stress sperimentati da u filu di tungstenu ponu tutti cuntribuiscenu à u potenziale di deformazione. Inoltre, qualsiasi impurità o difetti in u filu di tungstenu aggravanu a suscettibilità à a deformazione.
Per riduce u risicu di deformazione, i paràmetri di u prucessu devenu esse attentamente monitorati è cuntrullati, a purità è a qualità di u filamentu di tungstenu deve esse assicurata, è deve esse implementati protokolli di mantenimentu è ispezione adattati per l'equipaggiu di implantazione di ioni. Evaluà regularmente a cundizione è u funziunamentu di u filu di tungstenu pò aiutà à identificà qualsiasi segni di distorsioni è piglià l'azzioni currettive cum'è necessariu.
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