Taas nga purity titanium sputtering target alang sa vacuum coating
Ang mga target sa sputter kay high-purity nga mga materyales nga gigamit sa physical vapor deposition (PVD) nga mga proseso, ilabi na ang sputtering technology. Kini nga mga materyales gigamit aron maporma ang nipis nga mga pelikula sa mga substrate sa lainlaing mga industriya, lakip ang paghimo sa semiconductor, optical coatings, ug manipis nga pag-deposito sa pelikula alang sa mga elektronik nga aparato.
Ang mga materyal nga target sa sputter mahimo gikan sa lainlaing mga elemento ug compound, lakip ang mga metal, alloy, oxide ug nitride. Ang pagpili sa sputter target nga materyal nagdepende sa piho nga mga kabtangan nga gikinahanglan alang sa manipis nga film coating, sama sa electrical conductivity, optical properties, katig-a ug kemikal nga pagsukol.
Ang kasagarang mga target sa sputtering naglakip sa mga metal sama sa titanium, aluminum ug copper, ingon man mga compound sama sa indium tin oxide (ITO) ug nagkalain-laing metal oxides. Ang pagpili sa angay nga sputtering target nga materyal kritikal sa pagkab-ot sa gitinguha nga mga kinaiya ug performance sa manipis nga film coatings.
Ang mga target sa sputtering moabut sa lainlaing mga gidak-on depende sa piho nga mga kinahanglanon sa proseso sa pagdeposito sa manipis nga pelikula ug kagamitan sa sputtering. Ang gidak-on sa sputtering target mahimong gikan sa pipila ka sentimetro ngadto sa napulo ka sentimetro ang diyametro, ug ang gibag-on mahimo usab nga lainlain.
Ang gidak-on sa sputtering target gitino pinaagi sa mga butang sama sa gidak-on sa substrate nga adunay sapaw, ang configuration sa sputtering system, ug ang gitinguha nga deposition rate ug pagkaparehas. Dugang pa, ang gidak-on sa sputtering target mahimong maapektuhan sa mga piho nga kinahanglanon sa aplikasyon sa manipis nga pelikula, sama sa lugar nga tabonan ug sa kinatibuk-ang mga parameter sa proseso.
Sa katapusan, ang gidak-on sa sputter target gipili aron sa pagsiguro sa episyente ug uniporme nga pagdeposito sa pelikula ngadto sa substrate, pagtagbo sa mga piho nga panginahanglan sa manipis nga film coating nga proseso sa semiconductor manufacturing, optical coatings ug uban pang may kalabutan nga mga aplikasyon.
Adunay daghang mga paagi aron madugangan ang rate sa sputtering sa proseso sa sputtering:
1. Power and Pressure Optimization: Ang pag-adjust sa power ug pressure parameters sa sputtering system mahimong makaapekto sa sputtering rate. Ang pagdugang sa gahum ug pag-optimize sa mga kondisyon sa presyur makapauswag sa sputtering rate, nga mosangpot sa mas paspas nga pagdeposito sa nipis nga pelikula.
2. Target nga Materyal ug Geometry: Ang paggamit sa mga sputtering target nga adunay optimized nga materyal nga komposisyon ug geometry makapauswag sa sputtering rate. Ang taas nga kalidad, maayong pagkadisenyo nga mga target sa sputtering makapauswag sa kahusayan sa sputtering ug magdala sa mas taas nga rate sa pagdeposito.
3. Pagpangandam sa Target Surface: Ang hustong paglimpyo ug pagkondisyon sa sputtering target surface makatampo sa pagtaas sa sputtering rates. Ang pagsiguro nga ang target nga nawong wala’y mga kontaminado ug mga oksido makapauswag sa kahusayan sa sputtering.
4. Substrate Temperatura: Ang pagkontrol sa temperatura sa substrate mahimong makaapekto sa sputtering rate. Sa pipila ka mga kaso, ang pagpataas sa temperatura sa substrate sulod sa usa ka piho nga range mahimong mosangpot sa pagtaas sa sputtering rates ug pagpalambo sa kalidad sa pelikula.
5. Gas Flow ug Komposisyon: Ang pag-optimize sa gas flow ug komposisyon sa sputtering chamber mahimong makaapekto sa sputtering rate. Ang pag-adjust sa mga rate sa pag-agos sa gas ug paggamit sa angay nga sputtering gas mixtures makapauswag sa kaepektibo sa proseso sa sputtering.
Pinaagi sa mabinantayon nga pagkonsiderar niini nga mga hinungdan ug pag-optimize sa mga parametro sa proseso sa sputtering, posible nga madugangan ang rate sa sputtering ug mapaayo ang kinatibuk-ang kahusayan sa pag-deposito sa manipis nga pelikula sa mga aplikasyon sa sputtering.
Wechat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com