Hi ha un feix d'ions d'aire seriós en un material sòlid, el feix d'ions a àtoms de material sòlid o molècules a la superfície del material sòlid, aquest fenomen s'anomena sputtering de feix d'ions; i quan el material sòlid, la superfície del material sòlid va rebotar, o fora del material sòlid a aquests fenòmens, s'anomena dispersió; Hi ha un altre fenomen és que després del feix d'ions al material sòlid per material sòlid i reduir la resistència lentament i, finalment, romandre en materials sòlids, aquest fenomen s'anomena implantació iònica.
Tècnica d'implantació iònica:
És una mena de tecnologia de modificació de superfícies de materials que s'ha desenvolupat ràpidament i àmpliament al món en els darrers 30 anys. El principi bàsic és utilitzar l'energia del feix d'ions incident de l'ordre de material de 100 keV al feix d'ions i els materials dels àtoms o molècules seran una sèrie d'interaccions físiques i químiques, la pèrdua d'energia d'ions incident gradualment, l'última parada en el material i provocar que l'estructura i les propietats de la composició de la superfície del material canviïn. Per tal d'optimitzar les propietats superficials dels materials, o per obtenir algunes propietats noves. La nova tecnologia a causa dels seus avantatges únics, ha estat en el material semiconductor dopat, metall, ceràmica, polímer, la modificació de la superfície s'utilitza àmpliament, ha aconseguit grans beneficis econòmics i socials.
La implantació d'ions com a tecnologia de dopatge important en la tecnologia microelectrònica té un paper clau en l'optimització de les propietats superficials dels materials. La tecnologia d'implantació d'ions és un rendiment a molt alta temperatura i resistència a la resistència a la corrosió química del material. Per tant, les parts principals de la cambra d'ionització estan fetes de materials de tungstè, molibdè o grafit. Gemei anys d'investigació i producció de la indústria mitjançant la implantació d'ions de material de tungstè molibdè, el procés de producció té una experiència estable i rica.
Productes calents per a la implantació d'ions
