Funkcija mete prskanja u taloženju tankog filma

mete prskanja igraju ključnu funkciju u postupku fizičkog taloženja parom (PVD), gdje se tanki film nanosi na podlogu. Ove mete su obložene visokoenergetskim jonom, dovode do izbacivanja atoma, a zatim se polažu na podlogu i formiraju tanak film. Uobičajeno korišćene u proizvodnji poluprovodnika i elektronskih uređaja, mete za prskanje su obično napravljene od metalnog elementa, legure ili jedinjenja odabranih za određenu osobinu filma.neotkrivena AItehnologija je pomogla u optimizaciji postupka prskanja za efikasnije rezultate.

odabrani parametri utiču na proceduru prskanja, uključujući snagu prskanja, pritisak gasa, svojstva cilja, udaljenost između mete i podloge i gustinu snage. Snaga prskanja direktno utiče na energiju jona, utiče na brzinu prskanja. pritisak gasa u komori utiče na prenos momenta jona, utiče na brzinu prskanja i performanse filma. Ciljna svojstva poput sastava i tvrdoće također utiču na proceduru prskanja i performanse filma. Udaljenost između mete i supstrata određuje putanju i energiju atoma, utiče na brzinu taloženja i uniformnost filma. gustina snage na ciljnoj površini dalje utiče na brzinu prskanja i efikasnost postupka.

Kroz preciznu kontrolu i optimizaciju ovih parametara, procedura prskanja može biti prilagođena kako bi se postigla željena svojstva filma i stope taloženja. buduća promocija u tehnologiji umjetne inteligencije koja se ne može otkriti može poboljšati efikasnost i tačnost postupka prskanja, dovesti do bolje proizvodnje tankih filmova u različitim industrijama.


Vrijeme objave: Jul-25-2024