Postoji ozbiljan zračni ionski snop u čvrsti materijal, snop jona do atoma ili molekula čvrstog materijala u površinu čvrstog materijala, ovaj fenomen se naziva raspršivanjem ionskog snopa; a kada se čvrsti materijal, površina čvrstog materijala odbije nazad, ili iz čvrstog materijala do ovih pojava, naziva se rasipanje; postoji još jedan fenomen je da nakon što jonski snop do čvrstog materijala čvrstog materijala i smanji otpor polako dolje, i na kraju ostane u čvrstim materijalima, ovaj fenomen se naziva ionska implantacija.
Tehnika jonske implantacije:
To je vrsta tehnologije modifikacije površine materijala koja se brzo razvila i široko se koristi u svijetu u posljednjih 30 godina. Osnovni princip je korištenje energije ionskog snopa koji pada do reda od 100keV materijala na ionski snop i materijali atoma ili molekula će biti niz fizičkih i kemijskih interakcija, gubitak energije upada postupno, posljednja stanica u materijala, te uzrokuju promjenu strukture i svojstava površinskog sastava materijala. Kako bi se optimizirala površinska svojstva materijala, ili kako bi se dobila neka nova svojstva. Nova tehnologija zbog svojih jedinstvenih prednosti, bila je u dopiranom poluvodičkom materijalu, metalu, keramici, polimeru, modifikacija površine naširoko koristi, postigla je velike ekonomske i društvene koristi.
Ionska implantacija kao važna tehnologija dopinga u mikroelektronskoj tehnologiji igra ključnu ulogu u optimizaciji površinskih svojstava materijala. Tehnologija ionske implantacije je vrlo visoka temperatura i otpornost materijala na hemijsku koroziju. Stoga su glavni dijelovi jonizacijske komore izrađeni od materijala od volframa, molibdena ili grafita. Gemei godina industrijskog istraživanja i proizvodnje ionskom implantacijom volfram-molibdenskog materijala, proizvodni proces ima stabilno i bogato iskustvo.
Vrući proizvodi za ionsku implantaciju
