Ionska implantacija visoke čistoće volframova nit
Volframova žica za ionsku implantaciju je ključna komponenta koja se koristi u mašinama za ionsku implantaciju, uglavnom u procesima proizvodnje poluvodiča. Ova vrsta volframove žice igra važnu ulogu u poluvodičkoj opremi, a njen kvalitet i performanse direktno utiču na efikasnost IC procesnih linija. Mašina za ionsku implantaciju ključna je oprema u procesu proizvodnje VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), a uloga volframove žice kao izvora jona ne može se zanemariti.
| Dimenzije | Kao tvoji crteži |
| Mjesto porijekla | Luoyang, Henan |
| Brand Name | FGD |
| Aplikacija | poluprovodnik |
| Površina | Crna koža, alkalno pranje, auto sjaj, polirano |
| Čistoća | 99,95% |
| Materijal | W1 |
| Gustina | 19,3 g/cm3 |
| Standardi izvršenja | GB/T 4181-2017 |
| Tačka topljenja | 3400℃ |
| Sadržaj nečistoća | 0,005% |
| Glavne komponente | W＞99,95% |
| Sadržaj nečistoća≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Naša fabrika se nalazi u gradu Luoyang, provincija Henan. Luoyang je proizvodno područje za rudnike volframa i molibdena, tako da imamo apsolutne prednosti u kvaliteti i cijeni;
2. Naša kompanija ima tehničko osoblje sa preko 15 godina iskustva, a mi pružamo ciljana rješenja i prijedloge za potrebe svakog kupca.
3. Svi naši proizvodi prolaze strogu inspekciju kvaliteta prije izvoza.
4. Ako primite neispravnu robu, možete nas kontaktirati za povrat novca.
1. Odabir sirovina
(Odaberite visokokvalitetne sirovine od volframa kako biste osigurali čistoću i mehanička svojstva konačnog proizvoda. )
2. Topljenje i prečišćavanje
(Odabrane sirovine od volframa se tope u kontroliranom okruženju kako bi se uklonile nečistoće i postigla željena čistoća.)
3. Crtanje žice
(Pročišćeni volfram materijal se ekstrudira ili provlači kroz niz kalupa da bi se postigao potreban prečnik žice i mehanička svojstva.)
4.Annealing
(Vučena volframova žica je žarena kako bi se eliminisalo unutrašnje naprezanje i poboljšala njena duktilnost i performanse obrade )
5. Proces ionske implantacije
U ovom konkretnom slučaju, sama volframova nit može proći proces ionske implantacije, u kojem se ioni ubrizgavaju u površinu volframove niti kako bi promijenili njena svojstva kako bi se poboljšale performanse ionskog implantatora.)
U procesu proizvodnje poluvodičkih čipova, mašina za ionsku implantaciju je jedna od ključnih opreme koja se koristi za prijenos dijagrama čipa sa maske na silikonsku pločicu i postizanje ciljane funkcije čipa. Ovaj proces uključuje korake kao što su hemijsko mehaničko poliranje, taloženje tankog filma, fotolitografija, jetkanje i ionska implantacija, među kojima je ionska implantacija jedno od važnih sredstava za poboljšanje performansi silikonskih pločica. Primena mašina za ionsku implantaciju efikasno kontroliše vreme i cenu proizvodnje čipova, istovremeno poboljšavajući performanse i pouzdanost čipova.
Da, volframovi filamenti su podložni kontaminaciji tokom procesa jonske implantacije. Do kontaminacije može doći zbog raznih faktora, kao što su zaostali plinovi, čestice ili nečistoće prisutne u komori za ionsku implantaciju. Ovi zagađivači mogu se zalijepiti za površinu volframove niti, utičući na njenu čistoću i potencijalno utjecati na performanse procesa implantacije jona. Stoga je održavanje čistog i kontroliranog okruženja unutar komore za ionsku implantaciju ključno za minimiziranje rizika od kontaminacije i osiguranje integriteta volframove niti. Redovne procedure čišćenja i održavanja takođe mogu pomoći u smanjenju mogućnosti kontaminacije tokom jonske implantacije.
Volframova žica je poznata po visokoj tački topljenja i odličnim mehaničkim svojstvima, što je čini otpornom na deformacije u normalnim uslovima implantacije jona. Međutim, toplota nastala tokom visokoenergetskog ionskog bombardovanja i implantacije jona može uzrokovati izobličenje tokom vremena, posebno ako se parametri procesa ne kontrolišu pažljivo.
Faktori kao što su intenzitet i trajanje snopa jona i nivoi temperature i naprezanja koje doživljava volframova žica mogu doprineti potencijalu za deformaciju. Osim toga, bilo kakve nečistoće ili defekti u volframskoj žici će pogoršati osjetljivost na deformacije.
Da bi se smanjio rizik od deformacije, parametri procesa moraju se pažljivo pratiti i kontrolirati, mora se osigurati čistoća i kvalitet volframove niti, a moraju se implementirati odgovarajući protokoli održavanja i inspekcije za opremu za ionsku implantaciju. Redovno procjenjivanje stanja i performansi volframove žice može pomoći u identifikaciji bilo kakvih znakova izobličenja i poduzeti korektivne mjere prema potrebi.
