একটি কঠিন পদার্থের মধ্যে একটি গুরুতর বায়ু আয়ন মরীচি আছে, আয়ন মরীচি থেকে কঠিন পদার্থের পরমাণু বা অণুগুলিকে কঠিন পদার্থের পৃষ্ঠে পরিণত করে, এই ঘটনাটিকে আয়ন রশ্মি স্পুটারিং বলা হয়; এবং যখন কঠিন পদার্থ, কঠিন পদার্থের পৃষ্ঠটি ফিরে আসে, বা কঠিন পদার্থের বাইরে এই ঘটনাগুলিকে বিক্ষিপ্ত বলা হয়; আরেকটি প্রপঞ্চ হল যে আয়ন রশ্মি কঠিন পদার্থ দ্বারা কঠিন পদার্থের পরে এবং ধীরে ধীরে প্রতিরোধ কমিয়ে দেয়, এবং শেষ পর্যন্ত কঠিন পদার্থে থাকে, এই ঘটনাটিকে আয়ন ইমপ্লান্টেশন বলা হয়।
আয়ন ইমপ্লান্টেশন কৌশল:
এটি এক ধরণের উপাদান পৃষ্ঠ পরিবর্তন প্রযুক্তি যা গত 30 বছরে বিশ্বে দ্রুত এবং ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে। মৌলিক নীতি হল আয়ন রশ্মির ঘটনার শক্তিকে 100keV উপাদান থেকে আয়ন বিম করার জন্য ব্যবহার করা এবং পরমাণু বা অণুর উপাদানগুলি ভৌত এবং রাসায়নিক মিথস্ক্রিয়াগুলির একটি সিরিজ হবে, ঘটনা আয়ন শক্তি ধীরে ধীরে হ্রাস পাবে, শেষ স্টপ উপাদান, এবং উপাদান পৃষ্ঠ রচনার গঠন এবং বৈশিষ্ট্য কারণ, পরিবর্তন. উপকরণের পৃষ্ঠ বৈশিষ্ট্য অপ্টিমাইজ করার জন্য, বা কিছু নতুন বৈশিষ্ট্য প্রাপ্ত করার জন্য। নতুন প্রযুক্তি কারণ তার অনন্য সুবিধার, ডোপড সেমিকন্ডাক্টর উপাদান হয়েছে, ধাতু, সিরামিক, পলিমার, পৃষ্ঠ পরিবর্তন ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, মহান অর্থনৈতিক এবং সামাজিক সুবিধা অর্জন করেছে.
মাইক্রো ইলেকট্রনিক প্রযুক্তিতে একটি গুরুত্বপূর্ণ ডোপিং প্রযুক্তি হিসাবে আয়ন ইমপ্লান্টেশন উপাদানগুলির পৃষ্ঠের বৈশিষ্ট্যগুলিকে অপ্টিমাইজ করার ক্ষেত্রে একটি মূল ভূমিকা পালন করে। আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রযুক্তি হল খুব উচ্চ তাপমাত্রার কর্মক্ষমতা এবং উপাদানের রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের প্রতিরোধ। অতএব, আয়নাইজেশন চেম্বারের প্রধান অংশগুলি টংস্টেন, মলিবডেনাম বা গ্রাফাইট পদার্থ দিয়ে তৈরি। শিল্প গবেষণা এবং টংস্টেন মলিবডেনাম উপাদান আয়ন ইমপ্লান্টেশন দ্বারা উত্পাদন Gemei বছর, উত্পাদন প্রক্রিয়া স্থিতিশীল এবং সমৃদ্ধ অভিজ্ঞতা আছে.