স্পাটারিং প্রক্রিয়ায় স্পাটারিং রেট বাড়ানোর বিভিন্ন উপায় রয়েছে:

1. শক্তি এবং চাপ অপ্টিমাইজেশান: স্পটারিং সিস্টেমে শক্তি এবং চাপের পরামিতি সামঞ্জস্য করা স্পাটারিং হারকে প্রভাবিত করতে পারে। শক্তি বৃদ্ধি এবং চাপের অবস্থার অপ্টিমাইজ করা স্পুটারিং হারকে বাড়িয়ে তুলতে পারে, যার ফলে পাতলা ফিল্ম দ্রুত জমা হয়।

2. লক্ষ্যবস্তু এবং জ্যামিতি: অপ্টিমাইজ করা উপাদান গঠন এবং জ্যামিতি সহ স্পুটারিং লক্ষ্যগুলি ব্যবহার করে স্পুটারিং হার উন্নত করতে পারে। উচ্চ-মানের, ভাল-পরিকল্পিত স্পুটারিং লক্ষ্যগুলি স্পটারিং দক্ষতা বাড়াতে পারে এবং উচ্চ জমার হারের দিকে নিয়ে যেতে পারে।

3. টার্গেট সারফেস প্রিপারেশন: স্পুটারিং টার্গেট সারফেস সঠিকভাবে পরিষ্কার করা এবং কন্ডিশনিং স্পুটারিং রেট বৃদ্ধিতে অবদান রাখতে পারে। লক্ষ্য পৃষ্ঠ দূষক এবং অক্সাইড থেকে মুক্ত তা নিশ্চিত করা স্পুটারিং দক্ষতা উন্নত করতে পারে।

4. সাবস্ট্রেট টেম্পারেচার: সাবস্ট্রেট টেম্পারেচার কন্ট্রোল করলে স্পুটারিং রেট প্রভাবিত হতে পারে। কিছু ক্ষেত্রে, একটি নির্দিষ্ট সীমার মধ্যে সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা বাড়ানোর ফলে স্পুটারিং হার বৃদ্ধি এবং ফিল্মের গুণমান উন্নত হতে পারে।

5. গ্যাসের প্রবাহ এবং গঠন: স্পটারিং চেম্বারে গ্যাসের প্রবাহ এবং গঠনকে অপ্টিমাইজ করা স্পাটারিং রেটকে প্রভাবিত করতে পারে। গ্যাস প্রবাহের হার সামঞ্জস্য করা এবং উপযুক্ত স্পটারিং গ্যাসের মিশ্রণ ব্যবহার করা স্পুটারিং প্রক্রিয়ার দক্ষতা বাড়াতে পারে।

এই বিষয়গুলিকে সাবধানে বিবেচনা করে এবং স্পটারিং প্রক্রিয়ার পরামিতিগুলিকে অপ্টিমাইজ করে, স্পাটারিং রেট বৃদ্ধি করা এবং স্পাটারিং অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে পাতলা ফিল্ম জমার সামগ্রিক দক্ষতা উন্নত করা সম্ভব।