Разпръскващи целиса материали, използвани за отлагане на тънки филми върху субстрати по време на процеса на физическо отлагане на пари (PVD).Целевият материал се бомбардира с високоенергийни йони, което води до изхвърляне на атоми от целевата повърхност.Тези напръскани атоми след това се отлагат върху субстрат, образувайки тънък филм.Мишените за разпръскване обикновено се използват в производството на полупроводници, слънчеви клетки и други електронни устройства.Те обикновено се изработват от метали, сплави или съединения, които се избират въз основа на желаните свойства на отложения филм.

Процесът на разпръскване се влияе от няколко параметъра, включително:

1. Мощност на разпръскване: Количеството мощност, приложено по време на процеса на разпръскване, ще повлияе на енергията на разпръснатите йони, като по този начин ще повлияе на скоростта на разпръскване.

2. Налягане на разпръскващия газ: Налягането на разпръскващия газ в камерата влияе върху трансфера на импулса на разпръсканите йони, като по този начин влияе върху скоростта на разпръскване и ефективността на филма.

3. Свойства на целта: Физичните и химичните свойства на целта за разпрашаване, като нейния състав, твърдост, точка на топене и т.н., могат да повлияят на процеса на разпрашаване и ефективността на отложения филм.

4. Разстоянието между целта и субстрата: Разстоянието между целта за разпръскване и субстрата ще повлияе на траекторията и енергията на разпръснатите атоми, като по този начин ще повлияе на скоростта на отлагане и еднородността на филма.

5. Плътност на мощността: Плътността на мощността, приложена към целевата повърхност, влияе върху скоростта на разпрашаване и ефективността на процеса на разпрашаване.

Чрез внимателно контролиране и оптимизиране на тези параметри, процесът на разпръскване може да бъде пригоден за постигане на желаните свойства на филма и скорости на отлагане.