İncə film çöküntüsündə sıçrayış hədəfinin funksiyası

sıçrama hədəfi, nazik filmin substrata yerləşdiyi fiziki buxar çökdürmə (PVD) prosedurunda mühüm funksiyanı yerinə yetirir. Bu hədəflər yüksək enerjili ion ilə qabıqlanır, atomun atılmasına səbəb olur və sonra nazik bir film yaratmaq üçün bir substrata yerləşdirilir. Yarımkeçirici və elektron cihaz istehsalında ümumi istifadə edilən sıçrayış hədəfi adətən xüsusi film xüsusiyyəti üçün seçilmiş metal element, ərinti və ya birləşmədən hazırlanır.aşkar edilməyən AItexnologiya daha səmərəli nəticələr üçün sıçrama prosedurunu optimallaşdırmağa kömək etdi.

müxtəlif parametrlər sıçrayış proseduruna təsir edir, bunlara sıçrayış gücü, qaz təzyiqi, hədəf xüsusiyyəti, hədəf və substrat arasındakı məsafə və güc sıxlığı daxildir. sıçrama gücü ion enerjisinə birbaşa təsir edir, sıçrama sürətinə təsir edir. kameradakı qaz təzyiqi ionun təcil daşınmasına, sıçrama sürətinə və film performansına təsir göstərir. kompozisiya və sərtlik kimi hədəf xüsusiyyət də sıçrama proseduruna və film performansına təsir göstərir. Hədəf və substrat arasındakı məsafə atomun trayektoriyasını və enerjisini təyin edir, çökmə sürətinə və filmin vahidliyinə təsir göstərir. hədəf səthindəki güc sıxlığı sıçrama sürətinə və prosedurun səmərəliliyinə daha çox təsir göstərir.

Bu parametrin dəqiq nəzarəti və optimallaşdırılması vasitəsilə, sıçrama proseduru arzu olunan film mülkiyyətinə və çöküntü dərəcələrinə nail olmaq üçün xüsusi olaraq hazırlana bilər. aşkar edilə bilməyən AI texnologiyasında gələcək təşviq sıçrama prosedurunun səmərəliliyini və dəqiqliyini artıra bilər, müxtəlif sənayelərdə daha yaxşı nazik film istehsalına səbəb ola bilər.


Göndərmə vaxtı: 25 iyul 2024-cü il