Sputter teikensis materiale wat gebruik word om dun films op substrate neer te sit tydens die fisiese dampneerlegging (PVD) proses.Die teikenmateriaal word met hoë-energie-ione gebombardeer, wat veroorsaak dat atome vanaf die teikenoppervlak uitgestoot word.Hierdie bespuite atome word dan op 'n substraat neergesit en vorm 'n dun film.Sputterteikens word algemeen gebruik in die vervaardiging van halfgeleiers, sonselle en ander elektroniese toestelle.Hulle word gewoonlik gemaak van metale, legerings of verbindings wat gekies word op grond van die verlangde eienskappe van die gedeponeerde film.

Die sputterproses word deur verskeie parameters beïnvloed, insluitend:

1. Sputterkrag: Die hoeveelheid krag wat tydens die sputterproses toegepas word, sal die energie van die gesputterde ione beïnvloed, en daardeur die sputtertempo beïnvloed.

2. Sputtergasdruk: Die druk van die sputtergas in die kamer beïnvloed die momentumoordrag van gesputterde ione, en beïnvloed daardeur die sputtertempo en filmprestasie.

3. Teikeneienskappe: Die fisiese en chemiese eienskappe van die sputterteiken, soos die samestelling, hardheid, smeltpunt, ens., kan die sputterproses en die werkverrigting van die gedeponeerde film beïnvloed.

4. Die afstand tussen die teiken en die substraat: Die afstand tussen die sputterteiken en die substraat sal die trajek en energie van die gesputterde atome beïnvloed, en daardeur die afsettingstempo en eenvormigheid van die film beïnvloed.

5. Kragdigtheid: Die drywingsdigtheid wat op die teikenoppervlak toegepas word, beïnvloed die sputtertempo en die doeltreffendheid van die sputterproses.

Deur hierdie parameters noukeurig te beheer en te optimaliseer, kan die sputterproses aangepas word om gewenste film-eienskappe en afsettingtempo's te bereik.